光伏工业

为了提高输出电压，大型的薄膜太阳能板的工作表面需要利用激光进行选择性烧蚀，从而划分为多个区域。InnoSlab激光器的脉冲宽度很短，还可定制平顶分布的光斑，恰恰是薄膜烧蚀加工最有效的工具。基频(1064nm)和倍频(532nm)光源可分别用于P1、P2和P3层的加工。下图是利用矩形平顶光斑进行的划线加工.

由于电气绝缘和封装密封的需要，薄膜太阳能模块的玻璃基底上靠近边缘处的所有膜层都必须被全部清除掉。由于InnoSlab激光器的脉冲宽度很短，还有可定制的二维长方形平顶分布的输出光束，可以充分利用光斑的分布特性，用最小的空间重叠率进行加工，从而最有效的利用激光能量以完成清边的任务。另外，与矩形的光斑相比，还可以通过选择合适的扫描方向（沿着光斑较短的边）而降低对振镜扫描速度的要求，同时却无需牺牲加工速度。

在EWT高效太阳能电池的生产过程中，由于电极的需要，一个很重要的步骤就是要在电池背面进行结构化处理。在这一处理过程中，通常使用的是高斯分布的激光束再配合扫描光学元件进行。由于阈值效应的影响，高斯光束的能量利用率最高只能达到36.7% (= 1/e) 。由于单个脉冲只能形成一个圆形的烧蚀点，为了实现整个待加工区域的处理，相邻的两个激光脉冲就需要达到至少21%的空间重合率。如果改用二维平顶光束进行加工，以方形的均匀分布的能量代替轴对称高斯分布能量，加工效率可以得到极大的提高。YUUU图是用显微镜拍摄的指纹图像，它是用输出矩形平顶光束的InnoSlab激光器配合振镜扫描生成的。用200W大功率的矩形平顶分布的InnoSlab激光器，可以在2.5秒内完成156mm x 156mm区域的加工，这充分满足了大批量生产的要求。